臭氧是氧的同素异形体，是由三个氧原子构成。由于臭氧的理论特性，从而决定了臭氧具有很强的杀菌能力，是一种高效广谱杀菌剂。此外，臭氧对空气中的有害气体具有一定净化作用，并能使空气中产生一定量的新生氧。如：臭氧和一氧化氮作用会生成氧气和二氧化氮，同时二氧化氮和氧原子作用又生成一氧化氮和氧气。从总反应来看，臭氧是一氧化氮和二氧化氮的催化剂。
臭氧灭菌机理：臭氧灭菌的过程属于生物化学反应，臭氧灭菌有以下三种形式：
①臭氧氧化分解了细菌内部氧化葡萄糖氧化酶；
②直接与细菌、病毒发生作用，破坏其细胞壁DNA和RNA，分解蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质代谢生长和繁殖过程遭到破坏；
③渗透细胞膜组织，侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞的溶解死亡，并且将死亡菌体内的遗传基因，寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、枝原体及热原（细菌病毒代谢产物、内毒素）等溶解变性灭亡。由水落石出，臭氧灭菌属于溶菌，是一种灭菌方式中最彻底的形式。既然臭氧能杀死病毒、细菌，那么会不会也把健满面的细胞杀死呢？不会，因为健康细胞具有强人的平衡酶系统，因而臭氧对健康细胞无害。
臭氧具有的强氧化性，有四大功用：灭菌、氧化、脱色、除味；
臭氧灭菌具有广谱性、高效性、环保性、操作方便、使用经济和性能稳定、寿命长等特点。
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